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本文介绍了用电容测微仪和单片机构成的薄膜厚度在线检测系统。重点介绍了非接触式电容传感器原理及在本系统中的应用实例，简要说明了单片机的组成及与电容测微仪的接口。
智能化电容式薄膜厚度在线检测仪
【摘 要】
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本文介绍了用电容测微仪和单片机构成的薄膜厚度在线检测系统。重点介绍了非接触式电容传感器原理及在本系统中的应用实例，简要说明了单片机的组成及与电容测微仪的接口。
【机 构】
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天津理工学院,天津大学精仪学院
【出 处】
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计量技术
【发表日期】
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1998年12期
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