【摘 要】
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针孔作为点衍射干涉仪中的关键元件,针孔的制作精度将会严重影响干涉仪的检测精度。对于大多数衍射问题,标量衍射理论是一种比较好的近似,但是当衍射孔径较小时,矢量衍射理论
【机 构】
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中国科学院光电技术研究所,中国科学院研究生院
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针孔作为点衍射干涉仪中的关键元件,针孔的制作精度将会严重影响干涉仪的检测精度。对于大多数衍射问题,标量衍射理论是一种比较好的近似,但是当衍射孔径较小时,矢量衍射理论更能说明衍射波面的实际情况。针对可见光入射针孔时,分别从标量和矢量衍射理论出发,分析针孔尺寸对衍射波质量的影响,并计算衍射波面的峰谷（PV）值和均方根（RMS）值。结果表明,标量衍射理论下,当孔径为400 nm时,衍射波面误差RMS最小,且随着材料厚度的变化误差变化不大。矢量衍射理论下,孔径为200 nm时,衍射波面误差RMS最小,且材料厚度的
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