【摘 要】
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坐落于北京市经济技术开发区文昌大道8号的北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司(以下简称北方微电子),作为国内领先的高端半导体装备制造企业,所开发的刻蚀设备
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坐落于北京市经济技术开发区文昌大道8号的北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司(以下简称北方微电子),作为国内领先的高端半导体装备制造企业,所开发的刻蚀设备、化学气相沉积设备、物理气相沉积设备等核心产品已广泛应用于集成电路、半导体照明、微机电系统、功率半导体、
Located in Beijing Economic and Technological Development Zone Wenchang Road on the 8th Beijing North Microelectronics Base Equipment Technology Research Center Co., Ltd. (hereinafter referred to North Microelectronics), as a leading high-end semiconductor equipment manufacturing enterprises, the development of etching equipment, Chemical vapor deposition equipment, physical vapor deposition equipment and other core products have been widely used in integrated circuits, semiconductor lighting, micro-electromechanical systems, power semiconductors,
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