微机控制电致伸缩陶瓷微位移器的设计

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一、引言随着近代科学技术的迅速发展,对零件机械加工精度的要求也越来越高。在精密加工的基础上,出现了0.1~0.01微米级的超精密加工技术。然而,高质鞋的微位移器是 I. INTRODUCTION With the rapid development of modern science and technology, the machining accuracy of parts is also getting higher and higher. On the basis of precision machining, the ultra-precision machining technology of 0.1 to 0.01 μm appears. However, the high-quality shoe micro-displacer is
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