BaTiO3／SrTiO3超晶格的微结构研究

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【摘要】

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本实验研究利用激光分子束外延法(L-MBE)研究在SrTiO3(STO)(001)基片上生长的BaTiO3(BTO)/SrTiO3(STO)超晶格的微结构.利用小角X射线衍射光谱(SAXRD)的计算机模拟来获得BaTiO

【作者】

：

刘飞郑冰佟富强高丽娟于文学郑伟涛

【机构】

：

吉林大学材料科学系

【出处】

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材料科学与工艺

【发表日期】

：

2001年3期

【关键词】

：

BaTiO3/SrTiO3超晶格小角X射线衍射表面界面微结构均方根粗糙度钛酸钡钛酸锶铁电体介电体 BaTiO3 / SrTiO3 superl

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本实验研究利用激光分子束外延法(L-MBE)研究在SrTiO3(STO)(001)基片上生长的BaTiO3(BTO)/SrTiO3(STO)超晶格的微结构.利用小角X射线衍射光谱(SAXRD)的计算机模拟来获得BaTiO3/Sr-TiO3超晶格的微结构参数,如:总的膜厚度、超晶格周期、表面和界面的均方根粗糙度等.实验结果表明超晶格的表面和界面非常平整,均方根粗糙度大约为0.2 nm.原子力显微镜(AFM)的实验研究已经证明了超晶格结构的平滑程度.超晶格的〈001〉方向存在着微弱的关联现象.

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