论文部分内容阅读
设计与研发了激光封装设备，完成了可用于玻璃/玻璃激光键合的成套封装系统，集成视觉识别视觉定位、功率随路径的比例积分微分（PID）控制、X—y两平台运动控制功能，可实现定位误差为5μm、激光功率跳动小于0．2W、识别定位时间小于2s的高精度快速激光封装．利用本仪器可以对视场范围内任意尺寸的矩形玻璃料线框进行激光封装，结果表明，激光封装系统可以实现迅速高效封装．