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介绍了铝及其氮化物表面干法氧化的研究现状及发展前景。总结了不同氧化方法对铝氧化膜性质的影响，并对采用干法制备铝氧化膜及氮氧化膜技术的发展前景进行了展望，指出采用铝表面的热氧化、多组分等离子氧化制备铝氧化膜或氮氧化膜将成为铝氧化技术新的发展方向.
铝及其氮化物表面干法氧化的研究进展
【摘 要】
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介绍了铝及其氮化物表面干法氧化的研究现状及发展前景。总结了不同氧化方法对铝氧化膜性质的影响，并对采用干法制备铝氧化膜及氮氧化膜技术的发展前景进行了展望，指出采用铝表
【机 构】
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陕西师范大学化学与材料科学学院应用表面与胶体化学教育部重点实验室
【出 处】
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电镀与精饰
【发表日期】
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2009年10期
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