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提出一种基于MEMS的光栅光调制器，可用于投影显示等相关领域。介绍了其结构、工作原理及其加工流程，对器件进行傅里叶光学分析。分析得出，器件单像素在±1级对比度和光学衍射效率最大值分别为1225和51．4％，形成阵列后理论上最大值分别为无穷大和81％。采用Coventor软件进行光学仿真，得到器件实际情况下衍射花样，器件由于残余应力以及器件下拉时静电力作用产生翘曲变形，光学性能有所降低。