一种新的铁电薄膜快速热处理工艺的研究

来源 :红外与毫米波学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：zdx_comeon

【摘要】

：

使用一种新的快速热处理的方法制备出Pb(Zr0.52Ti0.48)O3(PZT)薄膜,该方法的主要设备为链式热处理炉,它主要分为三部分,即预热带、加热带和冷却带.溶胶的配制采用先通过减压

【作者】

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李建康姚熹

【机构】

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西安交通大学电子材料研究所

【出处】

：

红外与毫米波学报

【发表日期】

：

2004年2期

【关键词】

：

铁电薄膜快速热处理链式热处理炉减压蒸馏钙钛矿结构 RTA caterpillar furnace reduced pressure distillati

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使用一种新的快速热处理的方法制备出Pb(Zr0.52Ti0.48)O3(PZT)薄膜,该方法的主要设备为链式热处理炉,它主要分为三部分,即预热带、加热带和冷却带.溶胶的配制采用先通过减压蒸馏的方法得到干凝胶,再将干凝胶溶解在乙二醇甲醚中的方法得到.对干凝胶作了DSC-TG分析;对薄膜作了X-射线衍射分析,结果为纯的钙钛矿结构的晶相;在10kHz时薄膜的相对介电常数为235,介质损耗小于0.02;C-V特性曲线以及P-E电滞回线显示薄膜具有良好的铁电性能.

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