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近年来，出现了一些将直线电动机用于主轴及工作台传动的电火花成形机。其伺服脉冲当量是0．1μm，伺服最大速度为36m／min。与以往的电动机及滚珠丝杠传动方式相比，省去了丝杠螺母传动机构，消除了机械传动误差，提高了动态响应速度和精度。大幅度并极快的抬刀运动，不仅节省了空程时间，更利于放电间隙和液体介质的搅动和更新，促进排屑，使加工更加稳定。在窄缝、小孔等工艺条件相对恶劣的加工状态时更能显示出其效果。深件加工时，因泵吸作用实现了免冲液加工，缩短了加工时间，减小了电极损耗。配置的最佳加工伺服系统，每2ms巡检一