【摘 要】
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研究了一种用于边入射型探测器的InP基高效光纤-波导耦合器．它由10个周期的未掺杂120nm InP／80nm InGaAsP（1．05μm带隙）多层膜组成的稀释波导构成．采用半矢量三维束传播（BPM）方法以及
【机 构】
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中国科学院半导体研究所集成光电子国家重点实验室
【基金项目】
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国家高技术研究发展计划资助项目（批准号：2006CB302802）
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研究了一种用于边入射型探测器的InP基高效光纤-波导耦合器．它由10个周期的未掺杂120nm InP／80nm InGaAsP（1．05μm带隙）多层膜组成的稀释波导构成．采用半矢量三维束传播（BPM）方法以及中心差分格式，模拟了不同条件下的光纤一波导耦合效率，从而得到了最优耦合条件．对于TE偏振和TM偏振模，计算所得到的最高耦合效率分别为94％和92％．同时，计算表明，此类基于稀释波导的光纤．波导耦合器具有高偏振不敏感性，偏振敏感度低于0．1dB．
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