Co-Ti-O纳米颗粒合金薄膜的磁阻特性

来源 :过程工程学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：liaobz

【摘要】

：

利用直流与射频磁控溅镀在二氧化硅基板上共沉积制作Co-Ti-O颗粒合金单层薄膜,并通过适当热处理,使薄膜为Co及TiOx混合结晶相.单层颗粒合金薄膜Co59.78Ti16.5O23.7/SiO2试片

【作者】

：

方昭训郑文凯赖思宇陈锦山

【机构】

：

虎尾科技大学材料科学与工程系,虎尾科技大学光电与材料科技研究所

【出处】

：

过程工程学报

【发表日期】

：

2006年z2期

【关键词】

：

颗粒合金薄膜磁阻 granular alloy thin films magnetoresistance

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利用直流与射频磁控溅镀在二氧化硅基板上共沉积制作Co-Ti-O颗粒合金单层薄膜,并通过适当热处理,使薄膜为Co及TiOx混合结晶相.单层颗粒合金薄膜Co59.78Ti16.5O23.7/SiO2试片经1000 ℃热处理10 min,磁阻率为0.8%,而Co27.95Ti19.33O52.72/SiO2试片经1000 ℃热处理10 min,磁阻率高达4%.

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