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本文简要介绍了进口超净化集成电路生产线开车前的清洗,以及零部件腐蚀结垢的清洗情况,供大家参考,交流推广。
φ100集成电路生产线开车前的清洗
【摘 要】
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本文简要介绍了进口超净化集成电路生产线开车前的清洗,以及零部件腐蚀结垢的清洗情况,供大家参考,交流推广。
【机 构】
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天水化学清洗公司
【出 处】
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清洗世界
【发表日期】
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1991年1期
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