论文部分内容阅读
研究了初应力对压电薄膜体声波谐振器(FBAR)厚度拉伸模态谐振特性的影响.利用含初应力压电材料的压电弹性基本方程,推导出理想FBAR在正弦激励电压作用下的振动方程.然后根据边界条件,求出问题的解.得到串联和并联谐振频率,并给出具体的数值算例,讨论了初应力对谐振频率、带宽和有效机电耦合系数的影响.所得结果对于提高和改善FBAR的性能有参考意义.