被动隔振技术在超精密领域内应用的初探

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概述了超精密领域内主要的几种被动隔振技术,包括它们的原理和研究概况。重点介绍了变阻尼的空气弹簧和可变刚度的负刚度系统。 Summarizes several main passive vibration isolation technologies in the field of ultra precision, including their principles and research profiles. The variable damping air spring and the negative stiffness system with variable stiffness are mainly introduced.
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