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半导体柔性加工中的设备和工艺技术电子工业部第十三研究所（石家庄０５００５１）钱小工１半导体柔性制造技术与ＭＭＳＴ计划传统的半导体器件和ＩＣ制造大都采用大批量生产的方式，这种方式能实现工艺流程的最佳化，并降低了每个器件或晶片加工的成本。但是，这种方式并...
半导体柔性加工中的设备和工艺技术
【摘 要】
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半导体柔性加工中的设备和工艺技术电子工业部第十三研究所（石家庄０５００５１）钱小工１半导体柔性制造技术与ＭＭＳＴ计划传统的半导体器件和ＩＣ制造大都采用大批量生产的方式，这种方式能实现工艺流程的
【机 构】
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电子工业部第十三研究所
【出 处】
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半导体技术
【发表日期】
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1995年6期
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