【摘 要】
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陈大鹏,中国科学院（以下简称中科院）微电子所研究员,博导,先后参与或者主持过多项国家集成电路重大专项、国家自然基金、863计划、973计划、科技攻关等课题;主要从事集成电路制
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陈大鹏,中国科学院（以下简称中科院）微电子所研究员,博导,先后参与或者主持过多项国家集成电路重大专项、国家自然基金、863计划、973计划、科技攻关等课题;主要从事集成电路制造工艺技术研究,微细加工技术研究,MEMS技术研究.曾获得中组部首批科技创新创业领军人才（万人计划）支持和国务院专家津贴,2014年获得中科院杰出成就奖,现任中科院微电子研究所（以下简称微电子所）副所长兼任中科院物联网研究发展中心副主任.
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