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为了考察真空紫外光辐射在气体净化中的应用，以苯作为目标污染物，分别进行了紫外光波长、气体湿度、反应时间、初始浓度以及辐射功率对苯光解率的影响实验。实验结果表明，真空紫外光辐射方法净化气相污染物中的苯效果良好，在一定条件下，浓度为348．2mg／m^3苯污染气体真空紫外光降解率可达到90％。通过在不同条件下苯的降解率以及臭氧浓度变化，初步探讨了苯降解的机理以及降解途径。苯的降解主要是通过氢氧自由基（·OH）的加成以及后续一系列的氧化反应，降解产物为苯酚以及含有羟基的长链烃。