球轴承沟道表面微小压痕深度的测量与分析

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对于实际带有微小压痕的球轴承沟道表面,利用白光扫描干涉仪测量,对测量结果运用减量迭代的算法求得压痕的深度分布从而获得最大深度值。通过对标准台阶面台阶高度的测量,对该分析方法进行验证,确认该方法的可行性与准确性。
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