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离子注入能够精确地控制能量和剂量,能够注入几乎所有的元素,甚至同位素,而且注入离子形成的纳米晶粒镶嵌在衬底里,使得形成的纳米颗粒得到了很好的保护.
透射电镜原位研究Ni纳米晶粒成核生长
【摘 要】
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离子注入能够精确地控制能量和剂量,能够注入几乎所有的元素,甚至同位素,而且注入离子形成的纳米晶粒镶嵌在衬底里,使得形成的纳米颗粒得到了很好的保护.
【机 构】
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武汉大学物理科学与技术学院
【出 处】
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电子显微学报
【发表日期】
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2002年5期
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