封装技术及其制造设备的发展方向

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封装技术及其制造设备的发展方向本田辰夫前言从系统构成上讲,电子机器的组装必须经过若干个层次的封装级别。图1示出这种机器或系统封装层次的结构。首先,要在半导体LSI芯片上进行选择扩散和布线,这是0级封装。其次,将半导体LSI芯片封装好,类似于安装在电路... Packaging technology and its manufacturing equipment development Honda Takeshi Preface From the system structure, the assembly of electronic machines must go through several levels of packaging level. Figure 1 shows the structure of such a machine or system package level. First, the choice of diffusion and routing on a semiconductor LSI chip is a level 0 package. Second, the semiconductor LSI chip package, similar to the circuit installed in ...
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