【摘 要】
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为满足钝感起爆/点火的需求,采用氮化钽作为换能元桥区材料,在桥区结构、参数设计的基础上,对剥离、溅射和热处理等关键工艺进行了研究.参照国家军用标准GJB 5309.10-2004,对制作完成的氮化钽桥膜换能元的不发火电流、发火电流进行了测试.结果表明,采用多次间隔溅射和热处理等工艺,实现了氮化钽桥膜换能元桥区的厚膜图形化,并且氮化钽换能元可实现直流3A9W5min不发火、直流5A发火.
【机 构】
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陕西应用物理化学研究所 应用物理化学重点实验室,陕西 西安,710061
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为满足钝感起爆/点火的需求,采用氮化钽作为换能元桥区材料,在桥区结构、参数设计的基础上,对剥离、溅射和热处理等关键工艺进行了研究.参照国家军用标准GJB 5309.10-2004,对制作完成的氮化钽桥膜换能元的不发火电流、发火电流进行了测试.结果表明,采用多次间隔溅射和热处理等工艺,实现了氮化钽桥膜换能元桥区的厚膜图形化,并且氮化钽换能元可实现直流3A9W5min不发火、直流5A发火.
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