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采用射频磁控溅射法制备掺锌二氧化钛薄膜，控制溅射时间为2h，溅射功率为100W，500℃退火2h不变的情况下，研究不同的Ar／O2流量比对掺锌TiO2薄膜亲水性能的影响。试验结果表明：在无退火的情况下Ar／O2为3：7的光致亲水性能较好，而退火能够改善薄膜的亲水性能，当Ar／O2为4：6时，所制备的薄膜光致亲水性能最稳定。