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利用化学浴沉积法，以EDTA为络合剂，CuSO4·5H2O和Na2S2O3为前驱体溶液制备了硫化亚铜纳米薄膜，用FESEM、XRD、光学显微镜研究了前驱体浓度、络合剂的浓度、溶液的pH值、反应温度等因素对硫化亚铜纳米薄膜的表面形貌、晶粒大小与晶体结构的影响。结果表明，在最佳的生长条件下可以制备晶粒匀一、结构致密的硫化亚铜纳米薄膜，紫外可见吸收光谱表明硫化亚铜薄膜具有一定的透光性，并对红外光有很好屏蔽的作用。