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本文采用圆筒支中心集中载荷法测定硅片的抗弯强度。通过薄板线弹性应力和中面薄膜应力相叠加的近似方法,求得硅片中心弯曲应力公式。并依据载荷-挠度曲线的线性区,从实验测定硅片的E值,测定了经过几种不同加工处理的硅片所具有的抗弯强度,并求出Weibull统计平均值。
圆简支中心集中载荷下硅片的抗弯强度
【摘 要】
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本文采用圆筒支中心集中载荷法测定硅片的抗弯强度。通过薄板线弹性应力和中面薄膜应力相叠加的近似方法,求得硅片中心弯曲应力公式。并依据载荷-挠度曲线的线性区,从实验测
【机 构】
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浙江大学材料科学系,浙江大学材料科学系
【出 处】
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浙江大学学报(自然科学版)
【发表日期】
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1989年2期
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