【摘 要】
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用离子束增强沉积(IBED)方法: 即在氧气氛中,通过惰性气体Xe+ 离子轰击和Ti的电子束蒸发进行了氧化钛薄膜的合成. X射线衍射分析表明,用离子束增强沉积技术合成的薄膜为金红
【机 构】
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中国科学院上海冶金研究所离子束开放研究实验室,上海市心血管病研究所
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用离子束增强沉积(IBED)方法: 即在氧气氛中,通过惰性气体Xe+ 离子轰击和Ti的电子束蒸发进行了氧化钛薄膜的合成. X射线衍射分析表明,用离子束增强沉积技术合成的薄膜为金红石结构,具有(100)择优取向. 用背散射技术分析了薄膜的成分,发现薄膜的O/ Ti基本上接近2∶1. 薄膜中含有一定量的Ti2+和Ti3+ . 体外试验及动物体内试验结果表明,金红石型氧化钛薄膜具有比目前临床应用的热解碳更好的血液相容性. 并认为,金红石型氧化钛覆膜热解碳极可能成为新的人工心脏瓣膜材料.
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