【摘 要】
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以无水乙醇、乙二醇甲醚、乙二醇甲醚/乙醇混合溶液（1∶1）为溶剂体系,采用溶胶-凝胶法制备了ZnO透明薄膜,并利用场发射扫描电镜、X射线衍射和反射光谱仪等研究了溶剂体系对薄膜
【机 构】
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国防科技大学航天科学与工程学院材料科学与工程系
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以无水乙醇、乙二醇甲醚、乙二醇甲醚/乙醇混合溶液（1∶1）为溶剂体系,采用溶胶-凝胶法制备了ZnO透明薄膜,并利用场发射扫描电镜、X射线衍射和反射光谱仪等研究了溶剂体系对薄膜组成、结构和光学性能的影响。结果表明,3种溶剂所制备的ZnO薄膜均为六方纤锌矿型结构,具有c轴择优取向;以乙二醇单甲醚/乙醇混合溶液（1∶1）为溶剂制备的ZnO薄膜平整、致密,在可见光区域透光率达到90%左右,禁带宽度为3.25eV,具备制作薄膜太阳能电池透明导电电极材料的应用价值。
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