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提出了在铝合金基体上磁控溅射80Ni20Cr薄膜电阻应变计的加工工艺,说明了其工艺的实现步骤。采用低弹性模量的铝合金制作力传感器的弹性体可以提高力/力矩传感器的灵敏度。提出了一种适合MEMS加工的全平面的力/力矩传感器弹性体结构。并介绍了薄膜电阻应变计构成的微型六维力传感器和薄膜厚度的测量手段。通过实验证实,此种薄膜工艺的应用提高了力传感器的测量精度。