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STS新型Pegasus机器特别适用于深硅刻蚀

来源 :电子与封装 | 被引量 : 0次 | 上传用户：mulu911

【摘 要】

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总公司位于英国威尔士New Port的Surface Technology Systems plc(STS)近日宣布推出其新产品"Pegasus"全新离子反应式深硅刻蚀机,该机器可以将硅刻蚀的工艺最佳化,更可大幅度

【作 者】

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刘林发 

【出 处】

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电子与封装

【发表日期】

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2005年9期

【关键词】

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PEGASUS 刻蚀机 机器 TECHNOLOGY STS SURFACE Systems 硅 适用 

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总公司位于英国威尔士New Port的Surface Technology Systems plc(STS)近日宣布推出其新产品"Pegasus"全新离子反应式深硅刻蚀机,该机器可以将硅刻蚀的工艺最佳化,更可大幅度地改善制程能力的稳定度及机器的可靠性.

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