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采用超声分子束和时间分辨和质谱技术研究了1064nm脉冲激光辐照下Ge(111)与Cl2的反应动力学,实验结果表明,该反应的主要产物为GeCl,提高入射氯分子的平动能将增加反应速率,激光能量密度对GeCl2产率呈指数关系,而对GeCl2的平动温度影响不大。升高Ge(111)表面温度也能提高反应产率,同时还讨论了近红外激光诱导GeCl2反应的机理。