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研究了抛光对化学气相沉积金刚石自支撑膜断裂强度的影响。结果表明，金刚石自支撑膜粗糙表面所带来的V形缺口会降低其断裂强度，而且随着膜厚的增加，降低的程度越明显，通过抛光粗糙表面，消除了V形缺口对断裂强度的影响，有利于提高金刚石膜的抗破坏能力。提出了一种金刚石膜断裂强度的经验计算方法，获得的断裂强度值更接近于金刚石膜的本征断裂强度。