【摘 要】
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在中国古代的道家典籍《庄子》里,有一则颇值得玩味的故事:蜗牛的两根触角上,各有一个小国家.它们常年征战不休,仿佛两根蜗牛触角就是整个世界.这则讽刺战国时代诸侯之间无休
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在中国古代的道家典籍《庄子》里,有一则颇值得玩味的故事:蜗牛的两根触角上,各有一个小国家.它们常年征战不休,仿佛两根蜗牛触角就是整个世界.这则讽刺战国时代诸侯之间无休止混战的戏谑之作,放到今天来看,却仿佛是对蓬勃发展的微纳制造技术的预言.rn就像“螺蛳壳里做道场”这句中国古语所言,微纳制造技术和它所打造的种种微/纳机电系统(MEMS/NEMS),将人类社会带进了一个设计和制造MEMS/NEMS的全新领域.从1987年诞生于美国,直径只和头发丝相当的第一台硅微静电机算起,微纳制造技术在仅仅30年的时间里,开辟了一个全新的技术领域和产业,微传感器、微执行器、微型构件、微光学元件等微纳器件在航空、航天、国防、汽车、生物医学、环境监测等领域展现了良好的应用前景.如同微电子产业和计算机产业给人类带来的巨大变化一样,微纳技术所孕育的这场深刻的技术变革,也将对人类社会产生新一轮的影响.
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