GCr15轴承钢的PIIID表面改性工艺研究

来源 :中国表面工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户：woodma

【摘要】

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采用等离子体浸没离子注入与沉积(PIIID)技术在GCr15轴承钢表面制备了TiN、TiC薄膜,并对其进行了显微硬度和摩擦磨损测量.结果发现:注入时间、注入脉宽和工作气体对GCr15轴承

【作者】

：

孙韬汤宝寅王浪平王晓峰于永皓

【机构】

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哈尔滨工业大学

【出处】

：

中国表面工程

【发表日期】

：

2005年1期

【关键词】

：

表面改性等离子体浸没离子注入与沉积显微硬度摩擦磨损性能 surface modification plasma Immersion ion implan

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采用等离子体浸没离子注入与沉积(PIIID)技术在GCr15轴承钢表面制备了TiN、TiC薄膜,并对其进行了显微硬度和摩擦磨损测量.结果发现:注入时间、注入脉宽和工作气体对GCr15轴承钢表面改性效果具有显著的影响.通过对比分析,获取了最佳处理工艺参数.

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