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用于微观几何形状测量的扫描探针显微技术
用于微观几何形状测量的扫描探针显微技术
来源 :传感器技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:Linhan
【摘 要】
:
随着微技术的发展,对微观结构的精确测量变得越来越重要.对能够用于微观几何形状测量的扫描探针显微技术--扫描隧道显微术(STM)、扫描光学近场显微术(SNOM)和原子力显微术(AF
【作 者】
:
王晓东
常城
宋洪侠
【机 构】
:
大连理工大学,哈尔滨工程大学,大连理工大学
【出 处】
:
传感器技术
【发表日期】
:
2003年9期
【关键词】
:
扫描探针显微术
微观几何形状
传感器
STM
扫描光学近场显微术
原子力显微术
扫描隧道显微术
scanning probe microscopy (SPM)
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随着微技术的发展,对微观结构的精确测量变得越来越重要.对能够用于微观几何形状测量的扫描探针显微技术--扫描隧道显微术(STM)、扫描光学近场显微术(SNOM)和原子力显微术(AFM)进行了比较详细的分析和介绍.
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