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采用等离子体浸没离子注入沉积(PIIID)技术在GCr15轴承钢表面形成TiN薄膜,并采用划痕法对不同参数条件下膜层的膜基结合力进行了测量.结果发现:适当的氩离子溅射清洗和加入合适的过渡层可以提高膜基结合力,而且膜基结合力也会随着注入电压和注入量与沉积量比例的变化而改变.
GCr15轴承钢表面PⅢD处理膜层膜基结合力的研究
【摘 要】
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采用等离子体浸没离子注入沉积(PIIID)技术在GCr15轴承钢表面形成TiN薄膜,并采用划痕法对不同参数条件下膜层的膜基结合力进行了测量.结果发现:适当的氩离子溅射清洗和加入合
【机 构】
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哈尔滨工业大学材料学院现代焊接生产技术国家重点实验室,哈尔滨,150001
【出 处】
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真空科学与技术学报
【发表日期】
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2004年3期
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