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为满足强激光系统对光学元件表面疵病的高要求,提出了一种利用抛光效率来提高元件表面质量的新工艺,这种工艺基于现代光学环抛技术.在抛光胶和抛光液的质量水平难以大幅度提升的前提下,这种工艺以提高元件表面疵病去除效率来获得零损伤的光学元件,有助于提高元件批量化生产的合格率.
提高磨削效率改善表面疵病
【摘 要】
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为满足强激光系统对光学元件表面疵病的高要求,提出了一种利用抛光效率来提高元件表面质量的新工艺,这种工艺基于现代光学环抛技术.在抛光胶和抛光液的质量水平难以大幅度提
【机 构】
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上海中晶企业发展有限公司,成都精密光学工程研究中心
【出 处】
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大科技
【发表日期】
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2004年期
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