【摘 要】
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红外显微热成像系统能够分析微小物体或局部细节的温度变化,在工业检测、医学诊断和科学实验研究等领域已获得广泛的应用。分析了红外变焦显微光学系统的设计方法,并基于制冷
【机 构】
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中国电子科技集团公司光电研究院,光电信息控制和安全技术重点实验室
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红外显微热成像系统能够分析微小物体或局部细节的温度变化,在工业检测、医学诊断和科学实验研究等领域已获得广泛的应用。分析了红外变焦显微光学系统的设计方法,并基于制冷型红外探测器设计了一款成像倍率为0.5×~2×的光学系统。该系统采用机械补偿变焦方式,以二次成像构型实现与探测器冷光阑的光瞳匹配,在8片镜片上设计了2个非球面,矫正了高级像差,实现了在全倍率范围内的平滑连续变焦。通过zemax宏程序对变焦过程的分析表明,该光学系统在整个变焦过程中运动平滑,成像稳定,弥散斑变化均较小。
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