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以二氧化硅（Si O2）和氯甲烷（CH3Cl）为原料,在铜粉催化下,采用直接法合成甲基氯硅烷。研究了催化体系及助催化剂用量、反应温度和压力对CH3Cl转化率及甲基氯硅烷产率的影响。结果表明,较佳合成工艺是：在Si O2用量300 g、CH3Cl流量50 m L/min条件下,催化体系组成是Fe（60 g）＋Cu（15 g）＋Mg（30 g）＋Al Cl3（25 g）,反应温度280℃,压力0.3 MPa;在此条件下,CH3Cl的转化率为62%,甲基氯硅烷的产率为60.3 g/h。