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在研制的高压气动冲蚀磨损实验系统中对自支撑金刚石膜（抛光和未抛光）的冲蚀磨损进行了研究。比较了冲蚀磨料（SiO2，Al2O3，SiC和玻璃珠）、冲蚀角度、冲蚀速度，以及冲蚀时间对冲蚀磨损率的影响。利用扫描电子显微镜（SEM）观察了冲蚀磨损后金刚石膜表面形貌，对其进行了Raman光谱分析，并测定了抛光金刚石薄膜红外透过率的变化。结果表明，随冲蚀磨料硬度、冲蚀角度以及冲蚀速度的增加，自支撑金刚石膜的冲蚀磨损率增加。由于抛光和未抛光的金刚石薄膜表面形貌的差异，使得它们的冲蚀磨损率随冲蚀时间的变化过程不同。Ram