专利名称:用于有机电致发光镀膜机的坩锅式蒸发源

来源 :中国钼业 | 被引量 : 0次 | 上传用户:kobe20060121
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发源专利申请号:03110977.2公开号:1431339申请人:吉林大学本发明涉及一种应用于有机电致发光镀膜机的坩锅式蒸发源。坩锅式蒸发源由支座、热电偶测温系统、加热体炉子及坩锅组成。炉子由上、下两个95#陶瓷圆环片、金属钼炉丝、位于上下两个陶瓷圆环片间的筒状石英玻璃内屏蔽层 Origin Patent Application No. 03110977.2 Publication Number: 1431339 Applicant: Jilin University The present invention relates to a crucible evaporation source applied to an organic electroluminescent coating machine. Crucible evaporation source from the support, thermocouple temperature measurement system, heating furnace and crucible composition. Furnace from the upper and lower two 95 # ceramic ring pieces, metal molybdenum stove wire, located between the upper and lower ceramic ring between the cylindrical quartz glass inner shield
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