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据预测，到2007年，信息产业的发展将遭遇基本物理限制的阻滞．例如，基于Si和SiO2的晶体管，其单位面积的集成数将不再能以Gordon Moore定律的速度(每两年翻一番)增长．鉴于氧化物材料SrTiO3有可能以纳米精度控制其电子特性，人们看好这类材料在微电子领域的应用前景．
SrTiO3在微电子器件中取代硅材料的前景
【摘 要】
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据预测，到2007年，信息产业的发展将遭遇基本物理限制的阻滞．例如，基于Si和SiO2的晶体管，其单位面积的集成数将不再能以Gordon Moore定律的速度(每两年翻一番)增长．鉴于氧化物材料Sr
【出 处】
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物理
【发表日期】
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2005年5期
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