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本文主要介绍了一种在半导体工艺生产中使用的集束制冷技术,验证了此技术可以很好的适应半导体工艺中的清洗、刻蚀、腐蚀等溶液的恒温控制,并可帮助工艺工程师控制工艺影响因子,提高产品质量。
集束制冷技术应用
【摘 要】
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本文主要介绍了一种在半导体工艺生产中使用的集束制冷技术,验证了此技术可以很好的适应半导体工艺中的清洗、刻蚀、腐蚀等溶液的恒温控制,并可帮助工艺工程师控制工艺影响因
【机 构】
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西安派瑞功率半导体变流技术股份有限公司
【出 处】
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内江科技
【发表日期】
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2020年12期
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