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提出了一种基于电场的VFTO测量方法,以实现气体绝缘变电站（Gas Insulated Substations GIS）开关操作引起的快速暂态过电压（Very Fast Transient Overvoltage VFTO）的测量。通过MEMS电场传感器测量GIS母线周围的电场,进行大量试验确定电场强度与母线电压的线性关系,并对传感器进行标定,实现VFTO的测量。从理论上对GIS变电站不同负载的VFTO建模并进行仿真数值计算;使用扫频法、方波响应法对电场传感器的响应特征进行了测试,高频截止频率〉134 M