【摘 要】
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介绍了一种新型工程表面粗糙度两用测量系统的设计原理、仪器结构及测试结果。该系统可采用接触法和非接触法两种测量方式，接触法测量范围达±１００μｍ，最小分辨率为０．００５μｍ；非接触法测量范
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介绍了一种新型工程表面粗糙度两用测量系统的设计原理、仪器结构及测试结果。该系统可采用接触法和非接触法两种测量方式，接触法测量范围达±１００μｍ，最小分辨率为０．００５μｍ；非接触法测量范围达±２５０μｍ，最小分辨率为０．０１μｍ。
Introduced a new engineering surface roughness dual-purpose measurement system design principle, instrument structure and test results. The system can be used both contact and non-contact measurement methods, the contact method measuring range of ± 100μm, the minimum resolution of 0.005μm; non-contact measurement range of ± 250μm, the minimum resolution of 0.01μm.
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