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利用内耗技术研究了TiSiN系列纳米复合超硬薄膜的结构弛豫和硬化机理.当共振频率大约在100Hz时在230～280℃范围内观察到一个弛豫型的内耗峰.计算出激活能为0.7～1.0eV,弛豫时间指数前因子为10-10～10-12秒.对比一系列样品,发现硬度越高内耗峰越低,在硬度高于50GPa的薄膜中没有内耗峰.内耗峰随退火温度升高而不断降低,直至600～750℃退火时消失,并且杨氏模量开始增加,这跟样品退火后硬度增长是一致的.结果表明内耗峰来源于样品中界面的弛豫过程.