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以醋酸锌水溶液为前驱体，采用超声喷雾热分解方法在普通玻璃衬底上沉积了ZnO薄膜，以X射线衍射（XRD）、场发射扫描电子显微镜（FE-SEM）和紫外-可见光分光光度计（UV—Vis）等手段对所得ZnO薄膜的晶体结构、微观形貌和光学性能进行了分析，着重考察了衬底温度、衬底与喷嘴之间的距离、生长时间对ZnO薄膜晶体结构和光学性能的影响。结果表明，衬底温度大于450℃，载气流量为4L／min，衬底与喷嘴之间的距离为6cm，生长时间为30min下所得的ZnO薄膜较好，衍射峰较强，表面均匀致密，在可见光区域透过率为8