【摘 要】
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本文主要介绍了使用酸腐机对硅片进行的酸腐蚀实验。通过混酸的温度和混酸中溶液的配比的改变、相同的条件下也会得到不同的腐蚀速率。硅片晶向对酸腐蚀速率基本没有影响。并
【机 构】
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中国电子科技集团公司第四十六研究所,
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本文主要介绍了使用酸腐机对硅片进行的酸腐蚀实验。通过混酸的温度和混酸中溶液的配比的改变、相同的条件下也会得到不同的腐蚀速率。硅片晶向对酸腐蚀速率基本没有影响。并为寻求以后稳定的酸腐蚀工艺奠定了基础。
This article mainly introduces the acid corrosion test on silicon wafers by using acid-shaving machine. By mixing the acid temperature and mixed acid solution ratio changes under the same conditions will be different corrosion rate. Crystalline wafer acid etching rate basically no effect. And laid the foundation for seeking a stable acid corrosion process in the future.
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