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利用改进的化学镀镍技术,制备了对氢具有高选择性和透过性Ni基非晶态合金膜,并通过XPS和XAES手段对Ni-P非晶态合金膜表面进行了考察.结果表明,Ni-P合金表面物种,Ni以Ni2O3,而P以P5+的形式存在,体相以元素态Ni0和P0存在为主.Ni-P合金膜经高温晶化后,P由体相向表面扩散.