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通过在坩埚底部铺设籽晶来控制形核的同步性,获得均一等大的硅晶粒,实验采用铺设硅粉、颗粒料、碎硅片三种籽晶来诱导硅晶体生长,结果表明硅粉籽晶生长硅晶体晶粒均匀性最好。采用硅粉籽晶所生产硅锭效率比碎硅片籽晶高0.3%。
不同籽晶对多晶硅晶体生长的影响
【摘 要】
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通过在坩埚底部铺设籽晶来控制形核的同步性,获得均一等大的硅晶粒,实验采用铺设硅粉、颗粒料、碎硅片三种籽晶来诱导硅晶体生长,结果表明硅粉籽晶生长硅晶体晶粒均匀性最好
【机 构】
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徐州工业职业技术学院,江苏协鑫硅材料科技发展有限公司
【出 处】
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人工晶体学报
【发表日期】
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2014年10期
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