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从离子束清洗、离子束辅助沉积以及离子束后处理三个方面,介绍了离子束辅助技术在高功率激光薄膜中的应用背景、应用 优势以及存在的问题。
离子束辅助技术在高功率激光薄膜中的应用
【摘 要】
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从离子束清洗、离子束辅助沉积以及离子束后处理三个方面,介绍了离子束辅助技术在高功率激光薄膜中的应用背景、应用 优势以及存在的问题。
【机 构】
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中国科学院上海光学精密机械研究所; 中国科学院上海光学精密机械研究所 上海 201800; 上海 201800; 上海 201800;
【出 处】
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激光与光电子学进展
【发表日期】
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2004年期
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